電弧磁過濾鍍膜機(jī)
適用于沉積DLC或碳膜,耐高溫涂層如做氧化鋁等以及刀具、工模具的耐磨 損涂層鍍膜;
采用電弧磁過濾沉積系統(tǒng),這種結(jié)構(gòu)最大的優(yōu)勢(shì)在于離化率很高,膜層致密, 采用電弧磁過濾沉積系統(tǒng),這種結(jié)構(gòu)最大的優(yōu)勢(shì)在于離化率很高,膜層致密, 鍍膜離子能量強(qiáng),具有很強(qiáng)的膜基結(jié)合力,可以在平整表面形成致密,穩(wěn)定 的膜層,表面光潔度好,降低膜層的摩擦系數(shù);
該設(shè)備配置離子源,可結(jié)合磁過濾系統(tǒng)進(jìn)行清洗及輔助沉積
可根據(jù)用戶要求做不同配置,既可做量產(chǎn)設(shè)備使用,又可用于教學(xué)及科研。
設(shè)備型號(hào):BC-DLC-600A
技術(shù)參數(shù)(以下參數(shù)可根據(jù)用戶需求定制)
真空室結(jié)構(gòu):立式圓柱形前開門,后置低真空,上置高真空抽氣機(jī)組。
真空室尺寸:內(nèi)部尺寸650㎜×400㎜
真空室材質(zhì):全部采用不銹鋼材料焊接。
真空室加熱:室內(nèi)溫度≤500℃
旋轉(zhuǎn)基片臺(tái):平板型直徑472㎜,帶自轉(zhuǎn)軸。
靶配置: 磁過濾圓弧靶
電源配置:弧電源, 磁場(chǎng)電源,偏壓電源
控制方式: PLC全自動(dòng)和半自動(dòng)控制模式
占地面積:長3900㎜ ×寬2100㎜×高2600㎜
總功率KW: 380V 50KW
