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電弧磁過濾鍍膜機(jī)

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電弧磁過濾鍍膜機(jī)

產(chǎn)品時(shí)間:2021-12-22 16:30:32

簡要描述:

電弧磁過濾鍍膜機(jī)適用于沉積DLC或碳膜,耐高溫涂層如做氧化鋁等以及刀具、工模具的耐磨 損涂層鍍膜;采用電弧磁過濾沉積系統(tǒng),這種結(jié)構(gòu)最大的優(yōu)勢(shì)在于離化率很高,膜層致密, 采用電弧磁過濾沉積系統(tǒng),這種結(jié)構(gòu)最大的優(yōu)勢(shì)在于離化率很高,膜層致密, 鍍膜離子能量強(qiáng),具有很強(qiáng)的膜基結(jié)合力,可以在平整表面形成致密,穩(wěn)定 的...

詳細(xì)介紹

電弧磁過濾鍍膜機(jī)

適用于沉積DLC或碳膜,耐高溫涂層如做氧化鋁等以及刀具、工模具的耐磨 損涂層鍍膜;

采用電弧磁過濾沉積系統(tǒng),這種結(jié)構(gòu)最大的優(yōu)勢(shì)在于離化率很高,膜層致密, 采用電弧磁過濾沉積系統(tǒng),這種結(jié)構(gòu)最大的優(yōu)勢(shì)在于離化率很高,膜層致密, 鍍膜離子能量強(qiáng),具有很強(qiáng)的膜基結(jié)合力,可以在平整表面形成致密,穩(wěn)定 的膜層,表面光潔度好,降低膜層的摩擦系數(shù);

該設(shè)備配置離子源,可結(jié)合磁過濾系統(tǒng)進(jìn)行清洗及輔助沉積

可根據(jù)用戶要求做不同配置,既可做量產(chǎn)設(shè)備使用,又可用于教學(xué)及科研。


設(shè)備型號(hào):BC-DLC-600A


技術(shù)參數(shù)(以下參數(shù)可根據(jù)用戶需求定制)

真空室結(jié)構(gòu):立式圓柱形前開門,后置低真空,上置高真空抽氣機(jī)組。

真空室尺寸:內(nèi)部尺寸650㎜×400㎜

真空室材質(zhì):全部采用不銹鋼材料焊接。

真空室加熱:室內(nèi)溫度≤500℃

旋轉(zhuǎn)基片臺(tái):平板型直徑472㎜,帶自轉(zhuǎn)軸。

      靶配置:   磁過濾圓弧靶

電源配置:弧電源, 磁場(chǎng)電源,偏壓電源

控制方式:   PLC全自動(dòng)和半自動(dòng)控制模式

占地面積:長3900㎜ ×寬2100㎜×高2600㎜

總功率KW: 380V  50KW


電弧磁過濾設(shè)備.jpg

 


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