CVD金剛石涂層沉積設(shè)備
?可用于沉積金剛石涂層厚膜,焊接刀具;
?可用于沉積刀具涂層,如微銑微鉆,可沉積微米涂層、納米級(jí)涂層等;
?可用于沉積模具涂層,拉絲模具、擠壓模具等。
?可根據(jù)用戶要求做不同配置,既可做小批量量產(chǎn)設(shè)備使用可用于教學(xué)及 科研。
1:設(shè)備型號(hào):BC-Diamond-600
技術(shù)參數(shù)(以下參數(shù)可根據(jù)用戶需求定制)
真空室結(jié)構(gòu):立式圓柱形前開門,后置真空抽氣機(jī)組。
真空室尺寸:內(nèi)部尺寸600㎜×450㎜
真空室材質(zhì):全部采用不銹鋼材料焊接
真空室加熱:室內(nèi)溫度≤500℃
基片臺(tái): 平板型直徑 300㎜
電源配置: 偏壓電源,熱絲電源
控制方式: PLC全自動(dòng)和半自動(dòng)控制模式
占地面積: 長1900㎜×寬2100㎜×高2050㎜
總功率KW: 380V 40KW
