服務(wù)熱線
13811525672
一、 真空技術(shù)指標(biāo)：（潔凈、冷態(tài)、空載）
1. 極限真空：優(yōu)于5×10-4Pa；
2. 抽速：從大氣到5×10-3Pa，抽氣時(shí)間小于35分鐘；
3. 壓升率：小于0.5Pa/小時(shí)。
二、設(shè)備型號(hào):BC-1612ASI
技術(shù)參數(shù)（以下參數(shù)可根據(jù)用戶需求定制）
真空室結(jié)構(gòu)：帶水冷立式前開門，機(jī)械泵+羅茨泵+分子泵抽氣機(jī)組。
真空室尺寸：內(nèi)部尺寸1600㎜×1250㎜
真空室材質(zhì)：全部采用不銹鋼材料焊接。
真空室加熱：室內(nèi)溫度≤350℃
公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架：24個(gè)自轉(zhuǎn)軸，直徑∮140mm。
濺射靶系統(tǒng): 4對(duì)，含中頻電源
多弧靶系統(tǒng)：4套，含電源
條形離子源：1套，含電源
控制方式: PLC全自動(dòng)和半自動(dòng)控制模式，包含數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及報(bào)警系統(tǒng)。
占地面積：長(zhǎng)6000㎜ ×寬3500㎜×高2600㎜
總功率KW： 380V 120KW
